No dia 9 de Março de 1931, o físico alemão Ernst
Ruska e seus colaboradores apresentam o primeiro microscópio eletrônico de
transmissão, a projeção deste aparelho e a sua importância foi tão grande que
55 anos após (1986) Ruska recebeu o Prêmio Nobel de física. A microscopia
eletrônica de varredura teve seu início com o trabalho de M. Knoll (1935),
descrevendo a concepção do MEV. Em
1938 von Ardenne construiu o primeiro microscópio eletrônico de varredura adaptando
bobinas de varredura ao microscópio eletrônico de transmissão. O primeiro
microscópio eletrônico de varredura para observação de amostras espessas foi
construído em 1942 nos laboratórios da RCA usando o detector de elétrons
secundários para obter a imagem. Em 1939 a empresa Siemens produz o primeiro
microscópio de transmissão comercial. Em 1957, pela primeira vez Robertson
observa e descreve a estrutura trilaminar de membrana. Em 1965 foi produzido
comercialmente pela empresa Cambridge Scientific Instrument o primeiro
MEV. Durante este período várias
técnicas, reagentes (criofratura, sombreamento de metal, fixadores, resinas de
epóxi araldite etc.) e aparelhos como ultramicrótomo foram desenvolvidos para
a preparação de amostras para visualização ao ME.
Ernst Ruska